复旦微纳传感器课题组

卢红亮

教授，博士生导师

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E-mail：honglianglu@fudan.edu.cn

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2023年6月，本课题组2023届毕业生朱立远、李晓茜、刘梦洋、陈丁波、曾光和温小红博士生，以及吴雪颜硕士生顺利毕业。其中朱立远、李晓茜、刘梦洋、陈丁波四位博士和吴雪颜硕士凭借其杰出的学术成果和研究精神，荣获2023年度上海市优秀毕业生的荣誉称号。同时，课题组的曾光博士和温小红博士同样表现突出，凭借杰出学术成果，被授予2023年度复旦大学校优秀毕业生的荣誉称号。

在物联网和5G时代，智能感知技术在机器人、健康医疗、智能制造及基础科学研究中具有广阔应用前景，对于满足国家民生和国家战略需求具有重要意义。本实验室基于微纳加工和系统集成技术，致力于发展新一代具有竞争力的微纳传感器及智能系统技术，实现高端传感器、智能仪表的国产化。诚挚欢迎有志于相关方向的优秀人才前来申请博士后和工程师岗位。在这里你将有机会和各个领域的专家一起合作研发微纳传感器及智能系统技术，实现传感器、芯片及智能仪表的产业化，将为科研、工程技术人员提供一个良好的发展平台。

近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授课题组系统地总结了不同贵金属修饰的SMOs纳米气敏材料的设计及其应用于具有超高响应、较低工作温度和超低检测限的高性能气体传感器的最新研究进展，并进一步讨论了目前贵金属修饰的SMOs基化学电阻式气体传感器的主要挑战和未来展望。本文相关成果以“Advances in Noble Metal-Decorated Metal Oxide Nanomaterials for Chemiresistive Gas Sensors: Overview”为题发表在国际顶级期刊Nano-Micro Letters上（https://doi.org/10.1007/s40820-023-01047-z）。微电子学院卢红亮教授为本文通讯作者，博士研究生朱立远为第一作者。

2023年1月，课题组博士生李晓茜同学获评2021-2022学年复旦大学优秀学生标兵称号！

推文链接：https://mp.weixin.qq.com/s/PuMuVDNUlgBz3x68Q_h-rA

近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授课题组首次结合热氧化工艺、原子层沉积（ALD）工艺和溶剂热工艺合成了金属有机框架（MOF）修饰的α-Fe2O3@ZnO@ZIF-8核壳异质纳米线材料，并以此制备了低功耗MEMS基硫化氢（H2S）气体传感器，对浓度低至200 ppb H2S实现了超灵敏和高选择性的探测。相关成果以“Heterostructured α-Fe2O3@ZnO@ZIF-8 Core–Shell Nanowires for a Highly Selective MEMS-Based ppb-Level H2S Gas Sensor System”为题发表在国际顶级期刊Small上，文章链接：https://doi.org/10.1002/smll.202204828。微电子学院卢红亮教授为本文通讯作者，博士研究生朱立远为第一作者。

近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授团队提出了一种全新的半导体光电效应——极化诱导光电流转换（PIPS）效应。基于此效应，利用GaN基异质结中对立的极化电场实现了芯片级紫外光电二极管（UV-PD）的双极性探测功能。相关工作以“Polarization-induced photocurrent switching effect in heterojunction photodiodes”为题发表于Nano Research杂志上，文章链接：https://www.sciopen.com/article/10.1007/s12274-022-5086-8。微电子学院教授卢红亮，电子与信息工程学院研究员沈超为通讯作者，博士研究生陈丁波为第一作者。

近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授团队首次在聚酰亚胺（PI）基板上制备了全柔性的高性能β-Ga₂O₃光电晶体管，实现了超灵敏的深紫外光探测率，填补了β-Ga₂O₃基柔性深紫外探测领域的空白。相关工作以“High responsivity and flexible deep-UV phototransistor based on Ta-doped β-Ga₂O₃”为题发表于npj Flexible Electronics杂志上，文章链接：https://www.nature.com/articles/s41528-022-00179-3。微电子学院教授卢红亮、张卫，研究员杨迎国为通讯作者，博士研究生李晓茜为第一作者。

近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授团队与复旦大学附属中山医院皮肤科杨骥主任团队合作制备了一种可拉伸的硬度传感器，实现了硬皮病患者皮肤硬度的定量评估，相关工作以“A stretchable hardness sensor for systemic sclerosis diagnosis”为题发表于Nano Energy杂志。

近日，复旦大学、中国科学院上海硅酸盐研究所在塑性无机半导体的应用研究方面取得重要进展，研究结果以“Full-flexible intelligent thermal touch panel based on intrinsically plastic Ag₂S semiconductor”为题发表在材料类顶级学术期刊Advanced Materials上（https://onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/adma.202107479）。

2021年1月，课题组博士生朱立远同学获评2020-2021学年复旦大学优秀学生标兵称号！

推文链接：https://mp.weixin.qq.com/s/zVmRhxhS5hWrw_i8TubLQw

最近本团队采用MOCVD在HEMT模板上选区生长MicroLED结构，制备了基于HEMT结构的紫外探测器与MicroLED的集收发功能于一体的单片光子集成器件（IEEE Electron Device Lett. 43, 80-83, 2022）。该器件用作发射器可以获得接近300 MHz的3-dB调制带宽。用作接收器时，在365 nm紫外光下表现出<10 ms的响应时间和10⁷A/W量级的响应度。此外，接收到的紫外光信号可以转换为更高强度的可见光信号并通过MicroLED发射。本工作中的单片光子集成器件可用于未来集成光电系统中的片上光互连单元和光通信收发组件。

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2021年6月，本课题组赵学峰博士、杨佳赫硕士、杭成洲硕士顺利通过毕业答辩！

羽毛球

2021年5月，本课题组的羽毛球队获得复旦大学微电子学院“芯研杯”研究生羽毛球团体赛特殊贡献奖

2021年度EDWARDS高真空奖学金

2021年3月，本课题组赵学峰博士、陶佳佳博士获得2021年度EDWARDS高真空奖学金

As an indispensable and prevailing kind of flexible sensors, pressure sensors have been extensively used in the field of flexible electronics. To enhance the performance and broaden the applications of flexible pressure sensors, emerging nanomaterials with excellent electromechanical properties have been explored and developed over recent years. Herein, the latest progresses in flexible pressure sensors based on metal and carbonaceous nanomaterial are reviewed in this paper. Firstly, fundamental considerations of pressure sensors including transduction principles, evaluation parameters and nano-micro structures are presented. Furthermore, flexible pressure sensors based on carbonaceous nanomaterials, transition metal carbides and carbonitrides (Mxene), along with metal nanomaterials are reviewed and classified by different transduction principles. At last, a number of applications on electronic skin (E-skin) involving metal and carbonaceous nanomaterial-based flexible pressure sensors are introduced, including pressure distribution sensing, force direction detection, multifunctional sensing and system integration.

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2021年3月，博士生赵学峰、朱立远受邀参加第16届IEEE NEMS国际会议，并作poster展示演讲

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