
Beneq TFS200 原子层沉积

HDMS烘箱

二维转移平台

椭圆偏振仪

伺服拉力材料试验机

Keithley 4200 半导体分析仪

泰科诺电子束蒸发

匀胶机

Beneq TFS 200 原子层沉积

X射线衍射/反射仪

真空烘箱

管式退火炉

紫外光刻机

光学显微镜

RTP快速热退火炉

电子束曝光

2450数字源表

引线键合机

通风橱

Keysight B1500 光电测试平台

GDOES

高温热蒸发

气体测试平台