1. 基于先进ALD工艺的材料及器件
Materials and devices based on advanced ALD process
利用先进原子层沉积技术进行功能材料合成，分立、集成器件的开发及应用
功能材料AlON的合成时间序列 功能材料GaON薄膜的折射率特性 微结构包覆阵列
Ga2O3材料的优势与应用 集成光波导光电探测器 光电集成应用
2. 基于第三代半导体的片上集成光电探测器
On-chip integrated photodetector based on third-generation semiconductor
基于Ga2O3、GaN等第三代半导体的光电探测器制备、表征、集成化应用与开发
3. 新型多功能传感器
New multifunctional sensor
新型微纳功能材料的合成、微纳加工工艺、装配以及高性能气体、可穿戴、生物等传感器件的开发和应用
微纳气体传感器 柔性触觉传感器 生物传感器
智能可穿戴应变传感系统 智能手语识别系统 模拟集成电路设计
4. 智能传感系统集成及芯片设计
Intelligent sensor system integration and chip design
1、基于光电探测器、智能传感器等构建集器件、硬件电路、软件算法为一体的智能传感系统
2、混合信号集成电路设计