1. 基于先进ALD工艺的材料及器件
Materials and devices based on advanced ALD process
 
       利用先进原子层沉积技术进行功能材料合成,分立、集成器件的开发及应用
            
            功能材料AlON的合成时间序列             功能材料GaON薄膜的折射率特性                微结构包覆阵列
 
     
      Ga2O3材料的优势与应用                          集成光波导光电探测器                               光电集成应用
 
 
 
2. 基于第三代半导体的片上集成光电探测器
On-chip integrated photodetector based on third-generation semiconductor
 
       基于Ga2O3、GaN等第三代半导体的光电探测器制备、表征、集成化应用与开发
 
 
3. 新型多功能传感器
New multifunctional sensor
 
       新型微纳功能材料的合成、微纳加工工艺、装配以及高性能气体、可穿戴、生物等传感器件的开发和应用
        
                  微纳气体传感器                               柔性触觉传感器                                          生物传感器
 
     
      智能可穿戴应变传感系统                    智能手语识别系统                                     模拟集成电路设计
 
 
 
 4. 智能传感系统集成及芯片设计
Intelligent sensor system integration and chip design
 
1、基于光电探测器、智能传感器等构建集器件、硬件电路、软件算法为一体的智能传感系统
2、混合信号集成电路设计